最新鋭設備を兼ね備えたエア・ウォーター・メカトロニクス

エア・ウォーター・メカトロニクスは、産業ガス関連機器の開発・製造を行い、排ガス処理装置や高効率ガス発生装置を提供しています。エコムは、省エネルギーと環境保全を重視した排ガス処理装置を提供し、VOC削減に貢献しています。

エア・ウォーター・メカトロニクスとは？

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、産業ガス関連機器の開発・製造・販売を行う企業です。1962年に設立され、2023年に現在の社名に変更されました。神奈川県平塚市を拠点に、さまざまな分野で革新的な技術を提供しています。

◇パイオニクス事業部  

パイオニクス事業部では、超高純度ガスの精製装置や排ガス処理装置の開発・製造を行っています。また、圧力計や流量計、水位計などの工業計測機器の輸入・販売も手掛け、計測分野において高い専門性を誇ります。

◇特殊機器事業部  

特殊機器事業部は、半導体製造装置向けの特殊ケミカル供給システムを開発・製造しています。メルク社製「ケムガード」など、高純度ケミカル供給装置を提供し、顧客の要求に合わせた最適な製品を提供しています。

◇PSA事業部  

PSA事業部では、窒素ガス発生装置（PSA）の開発・製造・販売を行っています。独自の吸着材を使用し、省スペースで高収率な装置を提供し、産業界の多様なニーズに応えています。

◇エンジニアリング事業部  

エンジニアリング事業部は、産業ガスを活用した装置の開発を行っています。CMPスラリー供給装置やドライアイススノー洗浄装置、大気圧プラズマ表面処理装置など、幅広い製品を提供してきた実績があります。

会社名	エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 （旧商号：日本パイオニクス株式会社）
所在地	〒254-0013 神奈川県平塚市田村3-3-32
電話番号	0463-53-8300
公式ホームページ	https://www.awmx.co.jp/

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エア・ウォーター・メカトロニクスの排ガス処理装置を紹介

エア・ウォーター・メカトロニクスは、排ガス処理分野において豊富な経験と技術を有し、厳しい環境規制に対応した効率的な排ガス処理装置を提供しています。多様な業界ニーズに応えられる製品群が特徴です。

◇燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置は、高温で排ガスを燃焼させることにより、有害物質を分解し、VOC（揮発性有機化合物）や臭気物質の処理に非常に効果的です。この装置は、燃焼によって排出された有害ガスを無害な二酸化炭素や水蒸気に変換するため、環境への負荷を大幅に低減します。

高い処理効率を誇り、特に高濃度VOCの処理に優れた性能を発揮します。

さらに、燃焼時に発生する熱エネルギーを再利用する仕組みを取り入れており、エネルギー効率を高めると同時に運用コストの削減にも寄与しています。このように、環境負荷を軽減しつつコスト面でも効果的な運用が可能です。

◇PFC触媒加熱分解装置  

PFC触媒加熱分解装置は、パーフルオロカーボン（PFC）という温室効果ガスを効率的に分解するための装置です。PFCは地球温暖化係数が非常に高いガスであるため、その処理には特別な技術が必要です。

この装置は触媒技術を活用し、低温でPFCを分解することができるため、エネルギー消費を抑えつつ高い分解効率を実現します。

特に、半導体製造やディスプレイ製造といった業界で発生するPFCガスの処理に適しており、環境負荷を最小限に抑えることが可能です。これにより、環境への配慮を必要とする製造現場でも、PFCガスの適切な処理が行えます。

◇パイオクリン排ガス処理装置  

パイオクリン排ガス処理装置は、乾式処理方式を採用し、吸着材や触媒を使用して有害物質を効果的に除去する装置です。この装置は水や薬液を使用しないため、廃液処理が不要で、運用コストを抑えることができます。

また、メンテナンス性にも優れており、効率的に稼働し続けることができます。食品工場や化学工場など、さまざまな業界で発生する有害ガスを処理するために使用されており、多種多様なガスに対応可能です。

これにより、環境規制をクリアしつつ、事業運営の効率化が図れます。

◇アンモニア分解除害装置

エア・ウォーター・メカトロニクスが提供するアンモニア分解除害装置「MODEL-WGA」は、半導体分野、特に GaN（窒化ガリウム）製造工程で発生する排ガス処理に特化した装置です。

NH₃（アンモニア）を触媒によって窒素と水素へ分解し、有害成分を無害化します。さらに、MO（有機金属）を含む排ガスにも対応し、毒性のある化合物を安全かつ効率的に除害できるため、クリーンな製造環境の維持に大きく貢献します。

燃焼式を採用していないため、プロパン供給設備や排水設備が不要で、設備投資と運用負荷を抑えられる点も大きな利点です。さらに、NOx（窒素酸化物）を発生させない分解方式を採用しているため、環境への影響を最小限に抑えた処理が可能です。

吸着再生型であることから後処理剤交換も不要で、長期的なランニングコスト削減にも寄与します。

◇吸着再生式排ガス処理装置

吸着再生式排ガス処理装置「MODEL-WGE」は、エッチング工程における湿式除害を目的として開発された装置で、Cl₂、HBr、BCl₃、HCl、HF、SiF₄ など、腐食性・毒性の高いガスを TLV 値以下まで除去できます。

吸着筒を水のみで再生する方式を採用しているため、アルカリ成分による汚染が発生せず、環境負荷と運用コストの両面で優れた性能を発揮します。

少ない水量で再生できるほか、吸着筒が自動で交互運転する設計により、連続処理が可能となり、工場ライン停止のリスクを大幅に低減します。装置内部は目詰まりが起きにくい構造となっているため、長期にわたって安定した稼働を維持できます。

半導体製造に求められる高い信頼性と安全性を兼ね備え、多くの製造現場で採用されている装置です。

◇NF3用排ガス処理装置

NF3用排ガス処理装置「MODEL-WGH」は、半導体製造工程において洗浄ガスとして多用される NF₃（窒素三フッ化物）に対応した排ガス処理装置です。約 270℃ の低温で分解処理が可能で、排ガス中の NF₃ を許容濃度である 10ppm 以下にまで低減します。

分解後に生じるフッ素化合物は装置内のカートリッジに固定化されるため、二次スクラバーが不要で、排水処理設備なしで運用できる設計となっています。NOx や CO₂ を発生させない処理方式である点も環境負荷低減につながります。

除害筒が劣化した際もカートリッジ交換のみで対応でき、安全性と保守性にも優れています。これにより、半導体製造ラインの安定稼働を確実にサポートする装置として高く評価されています。

環境問題の改善に挑戦し続けるエア・ウォーター・メカトロニクスのテクノロジー

エア・ウォーター・メカトロニクスは、排ガス処理装置の提供にとどまらず、グループ会社と連携しながら「CO₂の回収・利活用」「未利用バイオマスのエネルギー化」「CO₂を排出しない水素製造」などの先進的な環境技術の開発を進めています。

脱炭素社会の実現に向けて、工場や地域社会が抱える課題をテクノロジーの力で解決し続けている点が大きな特徴です。

◇排ガスからCO2を回収する装置を開発

エア・ウォーターグループが開発した小型 CO₂ 回収・ドライアイス製造装置「ReCO₂ STATION」は、工場ボイラーやごみ焼却施設などから排出される低濃度排ガスから CO₂ を分離・精製し、その場でドライアイスや液化炭酸ガスとして有効利用できる装置です。

従来は大規模設備でしか実現できなかった CO₂ 回収を、コンテナサイズのコンパクトな装置で可能にした点が大きな特長です。

ReCO₂ STATION は、年間最大約 150 トンの CO₂ を回収し、再利用することで排出削減に貢献するとともに、物流に伴う環境負荷の軽減にもつながります。生産地の近くに設置できるため「必要な場所で必要な分だけ生産する」地産地消型の供給モデルを構築でき、炭酸ガスの安定調達にも寄与します。

また、高圧ガス製造に関する特別な資格や大規模な許認可を必要としない設計としたことで、脱炭素投資を検討する事業者が導入しやすい点も高く評価されています。同装置はこうした取り組みが評価され、「地球環境大賞」において環境大臣賞を受賞しています。

◇新型バイオマスガスによるエネルギー創出

バイオマス分野では、地域に存在する未利用資源をエネルギーとして活用する「地域密着型バイオエネルギー」の実現に向けた取り組みを進めています。間伐材、剪定枝、竹などの木質バイオマスをガス化し、発電や熱利用に活かす技術の開発に加え、発生した熱や CO₂ を温室栽培や陸上養殖へ活用する「トリジェネレーション」型の資源循環モデルの構築を目指しています。

さらに、コーヒー粕・茶粕・家畜ふん尿などの廃棄物を原料としたメタン発酵技術の研究も推進。メタン発酵で得たバイオガスを発電に利用し、その際の熱や CO₂、発酵残渣を農業へ還元することで、「エネルギー」「食」「資源」が循環する仕組みづくりに取り組んでいます。

長野県松本市で進行中の「地球の恵みファーム・松本」では、バイオマスガス化発電、メタン発酵発電、スマート農業、陸上養殖を組み合わせた実証施設として、地域資源の最大活用に向けた取り組みが進められています。

また、北海道・十勝地区では、家畜ふん尿由来バイオガスから液化バイオメタン（LBM）を製造するシステムの実証にも取り組んでいます。バイオガスを回収・輸送し、センター工場で精製・液化して LNG 代替燃料として供給することで、既存天然ガスインフラを活用しながら CO₂フリー燃料の提供を目指しています。

◇CO2を排出しない水素製造技術

水素分野ではまず、天然ガスを原料とする水素発生装置「VHR」を開発。熱回収効率を大幅に向上させることで天然ガス消費量および電力使用量を削減し、結果として CO₂ 排出量の抑制に寄与しています。酸素添加を必要としないプロセスとしたことで、ランニングコスト削減にもつながり、水素の普及に向けた環境を整えています。

さらに、戸田工業株式会社と共同で、CO₂を排出しない高効率水素製造技術「DMR（直接メタンリフォーミング）法」の開発も進めています。この技術は、メタンを熱分解して水素と固体炭素に分けるプロセスで、製造過程で CO₂ を発生させない点が特長です。生成される固体炭素はカーボンナノチューブとして回収でき、高付加価値資源としての利用も期待されています。

再生可能エネルギーを熱源として用いれば、製造段階から CO₂ を排出しない「ターコイズ水素」として供給できる可能性があり、日本政府が掲げる水素製造コスト目標達成や脱炭素社会の実現に向けて重要な次世代技術の一つと位置づけられています。

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VOC排出削減に適した排ガス処理方法は？

VOC排出削減に最適な処理方法を選ぶためには、まず「対象となるVOCの種類」「排ガスの濃度と風量」「目的（回収か完全分解か）」を整理することが欠かせません。VOC対策技術は大きく 燃焼法・吸着法・その他の新技術 に分類され、それぞれ得意とする領域や導入コストが異なります。

ここでは、代表的な3つの方式について、仕組み・特長・適した用途を整理して解説します。

◇燃焼法

燃焼法は、排ガス中のVOCを高温で酸化し、最終的に CO₂ と水に完全分解 する方式です。
「直接燃焼」「蓄熱燃焼（RTO）」「触媒燃焼」の3種類があり、印刷・塗装・アスファルト製造・廃棄物処理など多くの業界で利用されている、最も一般的なVOC処理技術です。

直接燃焼

構造がシンプルで安定性が高く、高濃度VOCや強い臭気の排ガス に適しています。ただし、多くの補助燃料を必要とするため、CO₂排出量とランニングコストが大きい点 が課題です。

蓄熱燃焼（RTO）

ハニカム状の蓄熱体で熱を回収し、90％以上の高い熱効率 を実現できる方式です。24時間稼働する工場ラインに適しており、直接燃焼よりも燃料消費を抑えられます。
一方で、装置が大型化しやすい ことや、タール・粉じんを多く含むガスには不向き という制約があります。

触媒燃焼

触媒を用いて 300〜400℃程度の低温 でVOCを酸化できるため、省エネ性に優れています。ただし、シリコン・硫黄・ハロゲンなどによる 触媒被毒 に注意が必要で、ガス成分に応じた設計と保守が不可欠です。

総合すると、燃焼法は 「高濃度VOCを確実に除去したい」「除去率を最優先したい」現場 に最適ですが、コストやCO₂排出の面から、ほかの方式との比較検討が重要となります。

◇吸着法

吸着法は、活性炭やゼオライトなどの多孔質材料にVOCを吸着させ、回収する方式です。装置構造がシンプルで、塗装・印刷・化学工場、クリーンルーム空調など幅広い用途で採用されています。

活性炭吸着

設備はコンパクトで導入しやすく、吸着中は ほとんどエネルギーを消費しない のがメリットです。加熱・減圧・水蒸気などで脱着し、溶剤を回収することができるため、VOCを「廃棄物」ではなく 資源として再利用したい現場 に適します。
ただし、再生時のエネルギーコストや、活性炭の劣化・廃棄処理が課題となります。

ゼオライトなどの無機系吸着材

不燃性で安全性が高く、中間生成物が発生しにくいことから、ガソリン蒸気回収 などにも利用されています。材料コストは活性炭より高めですが、耐久性に優れています。

吸着＋燃焼のハイブリッド方式

最近では、吸着で 低濃度・大風量のガスを濃縮 し、小風量にまとめて燃焼処理する方式が普及しています。省エネ・高除去率・設備寿命の延長が期待できます。

吸着法は、回収を目的とする現場、高濃度ではない排ガス、連続性よりもコンパクトさを重視する用途 に向いています。

◇その他のVOC処理技術

VOC処理には、燃焼法・吸着法以外にも、次のような技術があります。これらは単独で使われるほか、前処理・後処理として組み合わせて採用されるケースも増えています。

光触媒法

光触媒（酸化チタンなど）に光を当ててVOCを酸化分解する方式です。
常温運転・省エネ・メンテナンスが容易 な点から、室内空気質改善や脱臭用途で普及しています。ただし処理速度は高くないため、低濃度のにおい成分 の除去に適します。

放電プラズマ法

低温プラズマで発生する活性種によりVOCを短時間で分解する方式です。
装置が コンパクトで省スペース なメリットがあり、食品工場・ゴム工場・畜産施設などでも導入が進んでいます。
ただし、副生成物やNOxが発生するため、後段にスクラバーを組み合わせる設計が一般的 です。

薬液洗浄法（スクラバー）

薬液や水にVOCを吸収させる湿式処理で、水溶性のVOCや酸性・アルカリ性ガスに有効です。
一方で、廃液処理や薬液管理のコスト が課題のため、ほかの方式と組み合わせて導入されることが多くなっています。

燃焼式排ガス処理に長けた企業を紹介

排ガス処理においては複数の会社を検討し、自社の状況に適切な機器を選ぶ必要があります。ここまでエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社についてご紹介してきましたが、ここでは、同業であるサンレー冷熱株式会社をご紹介します。

サンレー冷熱

画像出典：サンレー冷熱

サンレー冷熱は、80年以上のバーナー燃焼技術を基に、環境装置を提供している企業です。脱臭装置、熱風発生装置、余剰ガス燃焼装置などの製品を揃えるほか、排ガスや有機廃液の処理装置など、顧客のニーズに合わせたカスタマイズにも対応しています。初期計画から保守管理まで一貫した技術サポートを行い、700基以上の納入実績があります。

メンテナンス体制も充実しており、大阪と東京を拠点に、仙台、名古屋、鳥取の各地に常駐スタッフを配置することで迅速な対応を実現しています。さらに、中国、韓国、台湾などの海外でもメンテナンスサービスを展開し、グローバルな顧客にも対応しています。

バーナーや環境装置本体だけでなく、付帯設備や周辺機器もメンテナンス対象とし、必要に応じて改修提案を行います。定期点検やオーバーホールを通じて、設備の安定稼働、エネルギー消費の削減、公害防止、故障の予防を徹底します。また、緊急時に備えた部品在庫や代替品の提案により、迅速な対応が可能です。

サンレー冷熱の排ガス処理装置を紹介

サンレー冷熱が提供している排ガス処理装置の一部をご紹介します。

直接燃焼式脱臭装置（脱臭炉）

画像出典：サンレー冷熱

サンレー冷熱の直接燃焼式脱臭装置は、長年培ってきた燃焼技術を活かして開発された高効率なパッケージ型装置です。環境保全とエネルギーの有効活用を重視して設計されています。

この装置は、半導体や電子部品の製造、石油化学、印刷、塗料、食品加工、化学プラント、し尿や汚泥処理施設など、幅広い分野で排出されるガスの処理に活用されています。

触媒燃焼式脱臭装置（脱臭炉）

画像出典：サンレー冷熱

サンレー冷熱の触媒燃焼式脱臭装置は、触媒技術を活用して悪臭物質を効率的に分解するパッケージ型の装置です。この装置は、燃料費や運転コストを抑えながら高い脱臭効果を実現します。

半導体や電子部品製造、石油化学、印刷、塗料、食品加工、化学プラント、し尿処理、汚泥処理など、さまざまな施設で排出されるガスの処理に対応しています。必要な分解温度を低く抑えた設計により、高効率な電気ヒーターを使用した脱臭処理が可能です。

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排ガス処理装置でおすすめの会社3選

排ガス中のVOCや悪臭成分を適切に処理するためには、ガスの濃度・風量・成分に適した方式を選ぶことが欠かせません。ここでは、大風量ラインや高濃度VOCにも対応できる 燃焼・蓄熱・プラズマ などの技術を有するメーカーから、排ガス処理装置の導入を検討する際に参考となる3社をご紹介します。

◇サンレー冷熱株式会社

サンレー冷熱は、大阪府枚方市を拠点に50年以上にわたり「燃焼技術」を中心に事業を展開してきたメーカーです。低NOxバーナや工業炉に加え、排ガス処理・脱臭装置を一品一様で設計できる点が大きな特徴で、枚方市のものづくり企業情報でも、有機化合物・有機溶剤の焼却技術、ダイオキシン対策装置など、公害防止分野での実績が紹介されています。

同社は、
・触媒燃焼式脱臭装置
・直接燃焼式脱臭装置
・濃縮式脱臭装置
・パルスプラズマ脱臭装置
・廃液燃焼処理装置
など、多様なラインナップを揃え、低濃度〜高濃度VOC、ガス〜廃液まで幅広く対応します。

触媒燃焼式では低温・省エネ運転、直接燃焼では高い処理効率と廃熱回収、パルスプラズマでは低濃度・大風量・複合臭気への対応など、方式ごとの長所を踏まえた最適提案が可能です。「どの方式が自社に適しているか判断がつかない」という段階でも相談しやすいメーカーといえます。

◇新東工業株式会社

新東工業は、鋳造設備で培ったエンジニアリング力を強みとし、蓄熱燃焼式（RTO）を中心とした排ガス浄化装置 を多数手がけるメーカーです。VOCや悪臭ガスを約800℃で確実に分解しつつ、ハニカムセラミック蓄熱体による高い熱交換効率で、直接燃焼方式に比べて燃料消費とCO₂排出量を大幅に削減できる点が特長です。

また、VOC濃縮装置と組み合わせた省エネプランにより、処理風量を絞って燃料消費を削減するなど、「3R（リデュース・リユース・リサイクル）」の観点からトータルエンジニアリングを提供しています。排ガス処理だけでなく、乾燥ラインやボイラでの廃熱利用まで含めた提案も可能です。

電気・電子、フィルム、印刷、紙工、プラスチック・ゴム、建材、アスファルトなど実績業種も広く、環境負荷低減・エネルギーコスト削減・法規制対応 を同時に進めたい工場にとって心強いメーカーといえます。

◇中外炉工業株式会社

中外炉工業は、工業炉分野で国内トップクラスの実績を持つプラントエンジニアリング企業で、同社の熱技術を応用した 蓄熱式排ガス処理装置（RTO） が高く評価されています。

独自開発のロータリーバルブにより、圧力変動の少ない連続切替を実現し、VOC除去率約98％・エネルギー回収効率95％前後という高性能を両立しています。また、低膨張率・高耐熱衝撃性の蓄熱体を採用しており、有機シリコンを含む難処理ガスにも対応しやすい設計が強みです。

自動車・機械・電池・電子部品など、高温プロセスと一体化した大規模ラインでの排ガス処理に適しており、さらに以下のようなガスにも対応できる設備を揃えています。
・低カロリーガス
・ミスト・ダスト含有ガス
・塩素・フッ素等のハロゲンガス
・アンモニアを含む排ガス
・廃液処理を伴う案件

複雑なガス成分や過酷な運転条件でも、条件に合ったシステムを提案できる点が高く評価されています。

まとめ

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、産業ガス関連機器の開発・製造を行う企業で、1962年に設立され、神奈川県平塚市を拠点に革新的な技術を提供しています。主な事業部門は、超高純度ガス精製装置や排ガス処理装置の開発、半導体製造装置向け特殊機器の製造、省スペースで高効率なガス発生装置の提供などです。

排ガス処理装置は、燃焼式、PFC触媒加熱分解装置、パイオクリン装置など、環境負荷の低減とコスト削減を実現しています。

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