半導体製造で知っておきたいフッ化水素に関する規制！排ガス処理装置のおすすめメーカーも紹介
フッ化水素は冷媒や半導体製造に重要な物質で、強い毒性を持つため慎重な取り扱いが必要です。冷媒やフッ素樹脂、半導体製造などで利用され、環境保護のため法令で規制されています。
目次
フッ化水素対策におすすめな排ガス処理装置メーカー26選
フッ化水素（HF）を含む排ガスを適切に処理することは、作業環境の安全確保と法令遵守の両面から不可欠です。こちらでは、フッ化水素対策に優れた排ガス処理装置（スクラバー）を提供するメーカー26社を厳選してご紹介します。
◇とくにおすすめのメーカー7選
| メーカー名 | 会社の特徴 |
| サンレー冷熱株式会社 | ・創業80年の燃焼技術を活かし、排ガス処理装置を700基以上納入。 ・初期計画から保守まで一貫した技術サポートと万全のメンテナンス体制が強み。 |
| 中外炉工業株式会社 | ・東証上場の工業炉メーカーで、熱技術に優れたグローバル企業。 ・塩素・フッ素含有ガスを99.97%以上の高分解率で処理し、56カ国以上に展開。 |
| ヤマト科学株式会社 | ・研究機関・製造現場向けに科学機器を提供する総合メーカー。 ・研究室用排ガス処理装置の開発から設置まで一貫対応。 |
| 株式会社ハイポテック | ・排ガス処理設備の設計・製作を専門とするエンジニアリング企業。 ・HCl・HF・SOx・Cl₂・Br₂など難処理ガスにも対応し、仕様に応じたカスタマイズが可能。 |
| 協立製作所協立 | ・1968年創業、研究実験設備に特化した設計・施工・メンテ対応企業。 ・ニッチ分野での高信頼とエンジニアリング力を武器に活躍。 |
| 協和化工株式会社 | ・70年超の歴史を持つ環境保全機器メーカー。 ・排ガス・脱臭装置や耐食ファン等の設計・製造を全国拠点で展開し、予防保全にも注力。 |
| 株式会社三貴製作所 | ・1968年創業、小型スクラバー製造に強みを持つ企業。 ・PVC・PP・ステンレスなど多様な材質に対応し、大学や工場での導入実績多数。 |
◇サンレー冷熱株式会社
サンレー冷熱株式会社の有機廃液処理装置は、可燃性・難燃性廃液を無害化処理する総合システムです。最適な焼却温度と滞留時間の確保により完全焼却を実現し、急冷装置やバグフィルタにより公害対策も万全です。
外壁の火傷防止対策や燃焼監視システムなど安全性を最重視し、コンパクト設計と全自動運転によって省人化・省スペース化を実現しています。さらに、燃焼排ガスからの熱回収による省エネルギー設計で、大学・研究機関から各種プラントまで幅広く対応しています。
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▼サンレー冷熱は充実したメンテナンス体制とアフターサービスを提供
◇中外炉工業株式会社
中外炉工業株式会社の塩素・フッ素含有排ガス処理装置は、99.97%以上の高分解率を誇ります。燃焼炉を含む設備全体を負圧で制御し、有害物が未処理のまま系外に漏れるのを防ぎます。
約1300℃から約90℃への急冷により、ダイオキシン再合成を抑制。塩酸回収機能の追加も可能（濃度約35%まで）です。水平横置型の焼炉設計により点検・補修が容易で、耐熱材・耐酸材料を適切に選定した長寿命設計も特長です。
中外炉工業株式会社の口コミ評判記事はこちら！
◇ヤマト科学株式会社
ヤマト科学株式会社の屋外排ガス洗浄装置は、研究室や実験施設から発生する有害ガスを効率的に処理します。コンパクトながら高い洗浄性能を持ち、限られた設置スペースにも対応可能です。
多様な研究ニーズに応じた仕様カスタマイズが可能で、実験環境の安全性向上を総合的に支援します。長年の科学機器製造のノウハウを活かし、信頼性の高い排ガス処理ソリューションを提供しています。
ヤマト科学株式会社の口コミ評判記事はこちら！
◇株式会社ハイポテック
株式会社ハイポテックのHTE-GTシステムは、ガス・VOC・煤塵・ミスト・白煙などを一括処理する総合排ガス処理装置です。対象物質に応じてフルカスタマイズ設計が可能で、一体型ユニットによる省スペース設置とイニシャルコストの削減を実現します。
各種耐食材質に対応可能で、集中制御による運転管理の簡素化も特徴です。スクラバー診断サービスも提供し、既設装置の老朽化診断から改善提案まで一貫して対応します。
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◇協立製作所株式会社
協立製作所株式会社のスクラバーは、湿式・乾式の両タイプを取り揃えています。無機系酸性ガス（HCl、HF、NO₂、SO₂）やアルカリ性ガス（NH₃）、有機系親水性ガス（酢酸・アルコール類）に対し、高い処理効果を発揮します。
処理風量・除害物質の濃度条件に応じた最適な装置を提案し、規格品で対応できない場合は個別設計も可能です。年1回以上のメンテナンスを推奨し、性能維持と耐用年数の延長をサポートします。
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▼株式会社協立製作所はプランニングからメンテナンスまで一貫対応
◇セイコー化工機株式会社
セイコー化工機株式会社のテクセル湿式スクラバーは、さまざまな産業の製造プロセスにおいて発生する腐食性ガスを効率よく確実に除去する装置です。
高除去性能、省スペース設計、メンテナンス性に配慮した構造が特徴で、給水口のクロスコネクションや規格標準ドレンパン（オプション）にも対応しています。また、特殊充填物とスプレーノズルの採用により、従来品よりも7～10%性能が向上しています
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▼【排ガス処理装置】セイコー化工機の湿式スクラバーとは？処理技術を解説
◇カンケンテクノ株式会社
カンケンテクノ株式会社の排ガス処理装置は、熱酸化分解方式・乾式・湿式の3方式を用途に応じて選択可能です。湿式スクラバーは、水溶性ガス（IPA・NMP・NH₃・HF・Cl₂などの酸性ガス）を水で吸収し無害化します。
燃料を使用しないためCO₂排出がなく、環境負荷の低減に貢献します。触媒式脱臭装置では、低温でVOC等を効率的に熱酸化分解し、高効率熱交換器の搭載により省エネ運転を実現しています。半導体・電子部品工場で豊富な実績があります。
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◇株式会社荏原製作所
株式会社荏原製作所のG-WS型湿式排ガス処理装置は、低コストかつ省スペースで導入可能な構造です。水溶性ガス（NH₃、DCS、TiCl₄、WF₆、HF、HClなど）を常温で処理可能です。
フィルターやデミスターを用いないシンプル構造で風量低下がなく、空気の力で水を巻き上げる仕組みのためポンプ不要です。10年以上の実績に裏打ちされた副生成物対策により、長期にわたり安定稼働を実現しています。
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◇株式会社カルモア
株式会社カルモアは創業30年以上の脱臭専門企業で、40万種類以上のニオイに対応するデータベースと業界最先端の技術を保有しています。
消臭剤スプレー、湿式スクラバー、活性炭フィルター、プラズマ脱臭装置など多様な方式に対応し、ニオイの種類・濃度・風量に応じた最適なソリューションを提案します。10万件を超える対策実績があり、住民苦情の根本的解決を目的としたトータルサポートに強みがあります。
◇協和化工株式会社
協和化工株式会社のTRS-HSシリーズは、FRP製の高耐蝕・高性能な排ガス洗浄装置です。主な特徴は高い除去性能と省スペース設計、メンテナンス性の向上です。
構造面では特殊充填物とスプレーノズルを採用し、従来品より7～10%性能が向上しています。循環タンクは底板一体成形のため液漏れの心配がありません。また、給水口クロスコネクションへの対応、規格標準ドレンパンのオプション取付が可能です。
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◇株式会社三貴製作所
株式会社三貴製作所は昭和43年創業の排ガス処理装置メーカーで、小型スクラバーの独自技術に定評があります。PVC製・PP製・ステンレス製など多彩なラインナップをそろえ、大学研究室から化学工場まで幅広く対応可能です。
活性炭フィルター付き小型乾式スクラバーK-3型は、移動式でコンパクトな構造となっており、少風量の処理に最適です。高性能かつ低価格を両立し、設置環境やニーズに合わせた柔軟な対応が強みです。
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▼多彩な排ガス処理装置を提案できる三貴製作所の製品とサービス
◇株式会社アコー
株式会社アコーのウェットスクラバーは、溜水式の独自設計によってシンプルな構造を実現し、安定した運転が可能となっています。水を空気の力で巻き上げる仕組みのため、ポンプを使用せずに運用できます。
また、フィルターやデミスターを使わない設計により、風量の低下を心配する必要がありません。粒子捕集性能としては、シングルスクラバーで8μm粒子を100%、ダブルスクラバーで1μm粒子を99%捕集できます。
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◇エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社のの吸着再生式排ガス処理装置「MODEL-WGE」は、エッチングプロセスに対応する湿式除害装置として設計されています。Cl₂、HBr、BCl₃、HCl、HF、SiF₄など、従来の湿式方式では対応が難しかったガスをTLV値以下まで除去できます。
吸着筒は水によって再生されるため、カートリッジの長寿命化が可能です。アルカリによる汚染を防ぎ、水使用量を抑えることでランニングコストの低減にも貢献しています。また、吸着筒を自動で交互運転させることで、連続した除害処理を実現しています。
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◇三菱重工株式会社
三菱重工株式会社の排ガス処理装置は、環境保全を重視した高効率な処理技術を採用しています。ハイブリッドバグフィルタ®は、従来のバグフィルタの性能に加えて窒素酸化物を除去する機能を備えており、排ガス中の複数成分を同時に処理できます。
湿式カセイソーダ洗浄方式の排ガス処理装置は、酸性ガスに対する高い除去能力を持ち、排出濃度の大幅な低減が可能です。シンプルなスプレー構造によって、運転や維持管理を容易にしています。さらに、触媒脱硝装置と組み合わせることで、窒素酸化物の除去効率を高めることができます。
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◇中川化学装置株式会社
中川化学装置株式会社の排ガス処理装置は、ガスをタンクに取り込み、吸収液によるシャワーリングによって有害成分と臭気を処理します。めっき装置や半導体製造設備、廃水処理設備から発生する排ガスに含まれる有害物質を効果的に除去します。
洗浄塔とケミカルファンには耐蝕性に優れたPVC素材を採用しており、長期の使用に耐えられる構造です。強度計算に基づいて設計された本体は、通常の運転条件に対して十分な安全性を確保しています。また、装置はコンパクトな設計となっており、限られた設置スペースにも対応できます。
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◇巴商会株式会社
巴商会株式会社は、特殊高圧ガス消費設備をはじめとするさまざまな研究ニーズに対応した環境を整えています。各実験室にはN₂、Ar、H₂、He、O₂、Dry-Airなどのガスラインを整備しており、シリンダーキャビネットや排ガス処理装置、可燃・支燃排気用の湿式スクラバーも完備しています。
ガスに関する専門知識を持つスタッフが強力にサポートし、秘密保持体制も確立しているため、プロセスガス通気実験やガス分析といった研究開発を安全かつ確実に進めることができます。
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◇日東化工機株式会社
日東化工機株式会社の無充填・気液混合式PBスクラバーは、酸系・アルカリ系・有機系ガスを水や薬液と接触させて除去する方式を採用しています。洗浄塔本体や循環槽、ポンプおよび付属品には耐食性の高いPVCまたはFRPを使用しており、装置の耐久性と安全性を確保しています。
排水についてはpH値を調整した上で排出できるよう、専用の処理システムも組み込むことが可能です。設計から製造、据付、メンテナンスまでを一貫して行い、研究施設や半導体工場、化学プラント、メッキ工場などの幅広いニーズに対応しています。
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◇株式会社ダルトン
ダルトンの湿式排ガス処理設備は、有害ガスを液体に接触させることで中和処理を行う「洗浄塔」として知られています。有害ガスの性質に応じて、水、希硫酸水、苛性ソーダ水溶液などの吸収液を使用し、物理吸収法と化学吸収法を使い分けています。
長年にわたって蓄積されたノウハウを活かし、吸収液の選定、装置材質、充填材、排風機やポンプの能力、装置レイアウトに至るまで総合的な設計を提供しています。これにより、研究施設や産業現場における多様な排ガス処理ニーズに柔軟に対応しています。
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◇駒沢工業株式会社
駒沢工業株式会社のアルマイト処理排ガス処理スクラバーは、アルマイト処理業界向けに設計された排ガス処理装置です。処理能力は220m³/minおよび300m³/minの2種類があり、排ガス中の有害成分を無害化するためにアルカリ性溶液や酸性溶液を用います。
除去の仕組みには、「物理吸収法」と「化学吸収法」の2種類があり、物理吸収法はガスを液体に溶解させる方法、化学吸収法はガスと液体が化学反応して無害化する方法です。
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◇高研株式会社
高研株式会社のFRP製クロスフロー型スクラバーは、米国KIMRE社が特許を持つ「KON.TANE™」三次元構造フィラメントを気液接触材として採用した新型の水平流方式ガス処理装置です。耐食性を備えた横型スクラバーで、塔の高さが低いため屋内への設置が可能です。
フラッディングポイントが高く、大きな空塔速度を確保できる効率的な設計を特徴としています。充填材はカートリッジ式で標準化されており、点検や交換を容易に行えます。加えて、2ミクロンまでのミストを99.9%除去する高性能デミスターを装備しています。
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◇株式会社 島津理化
株式会社 島津理化が提供する「薬液洗浄法排気ガス処理装置（TRS-HSシリーズ）」は、酸性・アルカリ性ガスなどの有害ガスを高効率で除去するための装置です。
モデルは処理風量が10～165 m³/minまで5つのサイズが用意されており、用途に合わせて選定ができます。除去効率は、塩化水素・フッ化水素・アンモニアについて97%、二酸化硫黄・硫化水素についても90%と非常に高く、実験室や化学工場などさまざまな排ガス処理に適しています。
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◇クラボウ株式会社
クラボウ株式会社の湿式排ガス処理装置では、「KBCA排煙脱硫装置」「GREATS湿式有害ガス除去装置」「KRANDOR湿式脱臭装置」「湿式除塵装置」の4シリーズを展開しています。KBCAは自社工場向けに開発されたもので、除去効率・負荷変動追従性・操作性に優れ、多くの導入実績があります。
GREATSではキレート剤を添加することで水銀などの重金属を効率的に除去し、減湿機能やガス再加熱器を用いて白煙の発生も抑制しています。これらの装置はいずれも自動制御機能を備え、運転や管理が容易に行えます。
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◇オリエンタル技研工業株式会社
オリエンタル技研工業株式会社の湿式ガススクラバーは、ベンチュリー方式と新搭載のノーブルフィルターを組み合わせることで、塩酸や硝酸などの酸性ガスを高効率で処理します。ベンチュリー方式によりガス除去効率を高めつつ、ノーブルフィルターの採用によって圧力損失を約半分に低減しています。
コンパクト設計を実現しながら処理容量を向上させ、本体カバーの採用により景観への配慮も行き届いています。制御盤とスクラバーを一体化し、設置スペースを削減するとともに、タッチパネル式のインターフェース（オプション）によって直感的な操作が可能です。
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◇アイエンス株式会社
アイエンス株式会社の排ガス処理装置「デオライザー」は、水膜によって100%の気液接触を実現し、臭気物質と微細粉塵を高効率で除去します。スクリーン上に形成された水平水膜がガスとの接触効率を最大化し、カートリッジ式スクリーンの採用によりメンテナンスも容易です。
また、散気装置「アクアブラスター」によって水の腐敗を防ぎ、スラッジの発生を抑制します。ほかにも「デオブラスター」「ダストフォール」など複数シリーズを展開し、大規模工場から小規模施設まで幅広い脱臭・集塵ニーズに対応しています。
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◇ミウラ化学装置株式会社
ミウラ化学装置株式会社の湿式洗浄装置は、独自の充填物「ヌレ網」を使ったスクラバーです。高い保水性により優れた脱臭性能を発揮し、広範囲の悪臭除去に対応しています。装置は複数のトレイ（多孔板）を段重ねに配置し、排ガスと洗浄液が効率よく接触する構造です。
処理工程では一室目で硫酸を使い、二室目で苛性ソーダと次亜塩素酸ソーダで処理を行います。ばいじんを含むガスの処理に適しており、気液接触面積が大きいため効率的に汚染物質を除去できます。
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◇新東工業株式会社
新東工業株式会社新東工業の湿式集塵機は、可燃性や爆発性を持つ粉塵にも対応できる安全設計が特長です。BDCシリーズでは、S字状のインペラによる遠心力と水の洗浄作用によって粉塵を捕集し、水の噴霧や循環ポンプを必要としないバブルフィルタ方式により、保守点検の手間を軽減しています。
RDCシリーズでは、マルチロッドスクラバーによってベンチュリ効果を活かし、限られた設置スペースでも大風量処理を可能にしています。また、FDCシリーズのマーブルスクラバーは泡層を形成することで、微細なダストを確実に捕集できるよう設計されています。
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フッ化水素の性質と主な用途
フッ化水素は化学や産業分野で重要な物質であり、冷媒や半導体製造に広く利用されていますが、強い毒性を持つため、慎重な取り扱いが求められます。以下でその性質や用途について詳しく解説します。
◇フッ化水素とは
フッ化水素は水素とフッ素からなる化合物で、常温では気体や液体として存在します。水に溶けると腐食性の強いフッ化水素酸となり、さまざまな産業に利用されます。
この物質は、ハイオクガソリンの製造時に触媒として使われ、またフライパンやガラス製品のフッ素加工にも利用されます。冷蔵庫やエアコンの冷媒としても重要な役割を果たします。
特に、高純度のフッ化水素は半導体製造に不可欠で、IT産業や家電産業の発展に大きく貢献しています。生活に欠かせない存在ですが、取り扱いには十分な注意が必要です。
◇フッ化水素の用途
フッ化水素は冷媒として使用される代替フロンの製造に欠かせません。オゾン層を守るため、環境に配慮した冷媒として重要な役割を果たしています。
また、フッ素樹脂の製造にも使用されます。耐熱性や耐薬品性に優れ、フライパンのテフロン加工にも利用され、私たちの生活に広く浸透しています。
さらに、半導体製造においても重要です。シリコンウェハーの処理や洗浄に使用され、高精度な加工が可能となり、ITや家電産業の発展を支えています。
◇フッ化水素の毒性
フッ化水素は強い腐食性を持ち、皮膚や眼、気道に対して危険です。ガスや蒸気を吸入すると肺水腫や喘息様の反応を引き起こすことがあります。
また、フッ化水素に曝露されると、体内でカルシウムが低下し、低カルシウム血症を引き起こすことがあります。短期間の曝露でも深刻な健康問題を引き起こす恐れがあります。
長期的または反復的な曝露では、フッ素が体内に蓄積し、歯や骨に障害を与える可能性があります。そのため、作業環境での管理と適切な安全対策が不可欠です。
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フッ化水素を規制する法令
フッ化水素は多くの産業で利用される便利な物質ですが、その毒性が非常に強いため、使用や保管については厳格に規制されています。以下で、フッ化水素に関連する主な法令を紹介します。
◇化学物質排出把握管理促進法
化学物質排出把握管理促進法は、化学物質が環境に与える影響を防ぐことを目的とした法律です。この法律により、事業者は化学物質の適切な管理と排出削減に努めることが求められます。
PRTR制度は、化学物質の排出・移動状況を把握するための仕組みです。これにより、事業者が排出する物質の量が年ごとに集計され、環境へのリスクが公開されます。
SDS制度は、化学物質を取引する際に必要な情報を事業者間で提供する義務を定めています。これにより、事故や環境汚染を防ぐため、適切な取り扱い方法が確立されます。
◇大気汚染防止法
大気汚染防止法は、国民の健康と生活環境を守るために大気汚染を防ぐことを目的とした法律です。この法律では、工場から排出される有害物質の規制が行われています。
排出基準は、ばい煙や粉じん、揮発性有機化合物（VOC）の排出を制限し、施設の規模や種類に応じて基準が設けられています。これにより、大気汚染を防ぐための管理が強化されます。
フッ化水素を含む排ガスについては、1.0～20mg/N㎥という基準が設けられています。この基準により、環境への影響を最小限に抑えることが求められています。
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フッ化水素に対応する排ガス処理装置
ハイポテックの充填スクラバーとTOGA有害ガス浄化装置は、排ガス処理や有害ガス除去において、強力な性能と長期使用に適した設計を提供します。
◇充填スクラバー（ハイポテック）
ハイポテックの充填スクラバーは、フッ化水素や塩素、アンモニアなど多様な有害ガスを効率的に除去する設備です。耐食性の高い材質を使用しており、長期的な使用に対応しています。ベルギー製のミストセパレーターを搭載し、排水ミストを効果的に除去します。
スクラバーは、HCl、HBr、HF、SO2、NH3、Br2、Cl2などのガスに対応しており、特に腐食性が強く吸収効率が低いハロゲン化物質の除去に優れています。RASCHIG社製の不規則充填物を使用し、最適なガス吸収を実現します。
また、スクラバー本体や内部部品は耐食材料で作られており、安定した性能を長期間維持できます。充填物や散水部品などにも高耐食性の材料を使用し、性能の維持を確実にしています。
◇TOGA有害ガス浄化装置（株式会社TOGA）
TOGA有害ガス浄化装置は、フッ化水素酸ガスを99%以上除去する特許取得済みのフィルターを搭載しています。研究施設や製造業で広く導入され、強力なガス除去性能を誇ります。フィルターは酸性ガスや有機溶剤にも対応可能です。
装置はダクトレス設計を採用しており、既存施設に簡単に導入可能です。コンパクトなデザインと移動式のキャスターにより、有害ガスの発生源に近い場所で効果的に除去できます。
また、長寿命フィルターを採用しており、交換周期が約1年と経済的です。環境にも配慮した循環型システムを採用し、室内の温度や湿度を維持しながら作業環境の快適性を確保します。
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排ガス処理装置を提供するメーカー3選
排ガス処理装置は多種多様ですが、選定にはその性能や機能を慎重に見極めることが重要です。今回は、高い技術力と実績を持つ信頼できる企業を紹介します。
◇サンレー冷熱株式会社
サンレー冷熱株式会社は1947年に創業し、70年以上にわたる歴史を誇る企業です。環境保護や産業効率化に貢献する製品を提供しており、特にバーナー燃焼装置や排ガス処理装置で実績を積んでいます。
| 会社名 | サンレー冷熱株式会社 |
| 所在地 | 〒573-1132 大阪府枚方市招提田近3-25 |
| 電話番号 | 072-856-3221 |
| 公式ホームページ | https://www.sunray-r.co.jp/environment/ |
また、省人化や無人化を支援する自動組立装置も取り扱い、企業の生産性向上をサポートしています。安全で快適な作業環境を提供することにも力を入れ、幅広い業界で活用されています。
サンレー冷熱株式会社について詳しく知りたい方はこちらも併せてご覧ください。
▼サンレー冷熱は充実したメンテナンス体制とアフターサービスを提供
さらに詳しい情報は公式ホームページでも確認できます。ぜひチェックしてみてください。
◇株式会社島川製作所
引用元：株式会社島川製作所
株式会社島川製作所は1981年に創業した排気ガス浄化装置の専門メーカーで、業界内で高い評価を受けています。特に、熱制御や風制御、大気汚染防止技術に強みを持ち、確かな技術力で製品を提供しています。
| 会社名 | 株式会社島川製作所 |
| 所在地 | 〒573-0128 大阪府枚方市津田山手2-9-3 |
| 電話番号 | 072-808-3055 |
| 公式ホームページ | https://www.shimakawa.co.jp/ |
同社は長年の経験を活かし、環境保護や排気ガスの浄化を支援する製品を提供しており、機械設計やエンジニア力にも定評があります。これらの技術で、産業の環境対策に貢献しています。
株式会社島川製作所について詳しく知りたい方はこちらも併せてご覧ください。
▼大型の排ガス処理装置にも対応可能！製作から請け負う島川製作所
◇ミウラ化学装置株式会社
引用元：ミウラ化学装置株式会社
ミウラ化学装置株式会社は1953年に創業し、長い歴史を持つ企業です。「公害問題の解決」を企業理念に掲げ、排ガス処理や有害物質浄化技術に特化した製品を提供しています。
| 会社名 | ミウラ化学装置株式会社 |
| 所在地 | 〒587-0042 大阪府堺市美原区木材通2-2-1 |
| 電話番号 | 072-362-8020 |
| 公式ホームページ | https://www.miura-eco.co.jp/ |
同社は創業当初から環境保護を目指し、排ガスや廃水、空気中の有害物質の浄化技術を提供してきました。その技術は業界で高く評価され、環境保護に大きく貢献しています。
ミウラ化学装置株式会社について詳しく知りたい方はこちらも併せてご覧ください。
フッ化水素は、強い毒性を持ちながらも、冷媒や半導体製造などで重要な役割を果たす物質です。取り扱いには慎重な管理が求められます。
フッ化水素は水素とフッ素から成る化合物で、常温では気体や液体として存在します。水に溶けると腐食性の強いフッ化水素酸に変わり、産業に利用されます。特に半導体製造では重要な役割を担い、IT産業の発展に貢献しています。
また、冷媒やフッ素樹脂の製造にも用いられ、耐熱性や耐薬品性に優れた材料を作り出します。これらは日常生活にも広く浸透しており、フライパンのテフロン加工や冷蔵庫にも使用されています。
一方、フッ化水素は非常に強い腐食性と毒性を持ち、皮膚や気道への危険があります。吸入すると肺水腫や喘息様反応を引き起こし、体内でカルシウムが低下する危険性もあるため、取り扱いには細心の注意が必要です。
フッ化水素は化学物質排出把握管理促進法や大気汚染防止法により規制されており、適切な管理が求められます。特に、フッ化水素を含む排ガスについては排出基準が設けられ、環境への影響を抑えるための規制が強化されています。
